高頻寬帶體聲波濾波器技術(shù)

　　本書共8章。第1章介紹濾波器的發(fā)展史，著重分析射頻濾波器的種類及體聲波濾波器的研發(fā)進展。第2章和第3章從體聲波濾波器的物理基礎(chǔ)出發(fā)，基于聲波的傳輸理論與材料的壓電理論推導出器件仿真模型，并以兩款體聲波濾波器的設(shè)計案例介紹設(shè)計方法的應用，展現(xiàn)關(guān)鍵影響因素在設(shè)計過程中的調(diào)整規(guī)律。第4～6章依次介紹了AlN薄膜的制備與表征方法、體聲波濾波器的關(guān)鍵制備工藝與封裝技術(shù)，結(jié)合本書作者團隊的研究成果，表明了單晶AlN體聲波濾波器（SABAR）技術(shù)路線較多晶AlN路線的優(yōu)勢。第7章著重介紹體聲波濾波器在民用通信、國防、傳感及醫(yī)學領(lǐng)域的應用。第8章分析與展望了體聲波濾波器的前沿技術(shù)，涉及SABAR濾波器、溫度補償型體聲波濾波器、四工器、XBAR、YBAR等。

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