半導體材料表征方法與技術

第1章 實驗數(shù)據(jù)的統(tǒng)計分析
1.1 測量及誤差
1.1.1 測量
1.1.2 誤差的基本概念
1.2 有效數(shù)字與數(shù)值運算
1.2.1 有效數(shù)字
1.2 ..2 數(shù)字的舍入與運算
1.2.3 數(shù)字的運算規(guī)則
1.3 誤差分析理論
1.3.1 測量結(jié)果的評價
1.3.2 隨機誤差
1.3 系統(tǒng)誤差
1.3.4 粗大誤差
1.3.5 誤差的合成
1.4 測量方案的確定
第2章 數(shù)據(jù)的擬合
2.1 小二乘法
2.1.1 小二乘法基本原理
2.1.2 小二乘法與 似然法
2.2 線性參數(shù)的 小二乘擬合
2.2.1 直線擬合
2.2.2 一般線性參數(shù)方程
2.2.3 小二乘法數(shù)據(jù)擬合的統(tǒng)計性質(zhì)
2.2.4 兩個變量都具有誤差時的直線擬合
2.3 非線性參數(shù)的 小二乘擬合
2.3.1 可化為線性擬合方程的非線性參數(shù)估計
2.3.2 非線性參數(shù)的一般處理方法
2.4 多項式曲線擬合
2.4.1 多項式擬合原理
2.4.2 測量數(shù)據(jù)的光滑處理
2.4.3 多項式擬合階數(shù)的選取
2.5 正交多項式族的應用
2.5.1 曲線擬合中正交多項式族的使用
2.5.2 正交多項式族的構(gòu)成
2.5.3 自變量等間距變化的直線方程計算
2.5.4 自變量等間距變化時多項式擬合計算
第3章 半導體物理基礎
3.1 固體能帶理論基礎
3.2 載流子的準經(jīng)典運動
3.2.1 布洛赫電子的有效質(zhì)量和運動速度
3.2.2 能帶填充與材料導電特性
3.3 平衡載流子的統(tǒng)計分布
3.3.1 載流子濃度計算
3.3.2 本征半導體
3.3.3 非本征半導體
3.4 半導體中的載流子輸運
3.4.1 載流子的漂移運動
3.4.2 載流子的擴散運動
3.5 非平衡載流子
3.5.1 非平衡載流子的注入與復合