阻變存儲器中離子擴散動力學研究

　　《阻變存儲器中離子擴散動力學研究》圍繞阻變存儲器中的氧離子擴散動力學展開研究，以阻變存儲器常用介質(zhì)層Ta2O5為主要研究對象，采用密度泛函理論的原理計算與實驗研制相結(jié)合的方法，研究氧原子擴散勢壘對氧空位導電通道的調(diào)控機制，分別用理論計算和實驗探索Ta2O5中子半徑、離子電負性、氧空位之間相互作用對原子擴散勢壘的調(diào)控規(guī)律。基于此規(guī)律，實驗制備相應阻變存儲器器件，研究調(diào)控手段影響下的器件操作電壓、阻態(tài)穩(wěn)定性參數(shù)，獲取摻雜離子半徑、離子電負性、氧空位之間相互作用-擴散勢壘-操作電壓、阻態(tài)穩(wěn)定性之間的關(guān)系，進一步得到原子擴散勢壘-導電通道的關(guān)系，明確擴散勢壘對器件導電通道調(diào)控機制?！蹲枳兇鎯ζ髦须x子擴散動力學研究》可供微電子專業(yè)、集成電路專業(yè)本科生、研究生，以及從事半導體存儲器設計的人員和大專院校相關(guān)專業(yè)教師參考使用。

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