納米加工技術與原理

　　《納米加工技術與原理》的出版是因為我們意識到微納結構加工的新知識層出不窮，現(xiàn)有數(shù)據(jù)庫中逐漸出現(xiàn)了空白。目前，已經(jīng)非常完善但仍然在高速發(fā)展的微電子加工技術讓我們擁有了一系列對半導體、絕緣體及金屬等薄膜進行沉積、圖形化及刻蝕的工具和方法，這些工具和方法在許多文獻和書籍中都有詳細的描述和記錄，也持續(xù)在新興的納米技術產(chǎn)業(yè)發(fā)揮著巨大的作用。然而，除了這些已經(jīng)存在的方法外，近些年來針對納米尺度與精度的結構加工涌現(xiàn)了眾多新工具，其中，如原子層沉積，已經(jīng)逐漸在微電子生產(chǎn)線上獲得應用。也有部分尖端工具，如氦離子束納米加工，在未來短期內(nèi)不太可能實現(xiàn)大批量生產(chǎn)，但是作為一類強大的工具，它們可以制作以前無法想象的納米器件。介于二者之間，還有許多技術到目前為止仍沒有出現(xiàn)在標準的微納加工手冊中，這些技術的共同特征是能夠?qū)ξ镔|(zhì)進行近原子尺度和精度的結構加工。因此，我們認為有必要將這些技術編寫成一本參考書，作為對以前那些專門描述先進CMOS集成電路工藝的書籍的補充。該書不會對CMOS工藝進行介紹，并不是因為它們不屬于“真正的納米加工方法”，而是因為它們在過去很多年是緩慢演化而來的，大家已經(jīng)比較熟悉，有很多其他的書籍進行了專門介紹?！都{米加工技術與原理》兼顧了納米加工的基礎原理和應用實例。潛在的讀者，即所有對納米結構加工新方法感興趣的人員，包括工業(yè)界的工藝工程師、學術研究人員、研究生及高年級本科生。該書也可以作為教材為研究生開設一個學期的納米加工方面的課程，盡管不是專門為教學目標而編寫。

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