基于MEMS技術(shù)的硅脈象傳感與檢測系統(tǒng)的研究

定　價(jià)：￥23.00

作　者：	王璐著
出版社：	黑龍江大學(xué)出版社
叢編項(xiàng)：
標(biāo)　簽：	暫缺

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ISBN：	9787811295009	出版時(shí)間：	2013-05-01	包裝：	平裝
開本：	32開	頁數(shù)：	273	字?jǐn)?shù)：

內(nèi)容簡介

　　《基于MEMS技術(shù)的硅脈象傳感與檢測系統(tǒng)的研究》介紹了采用MEMS技術(shù)、CMOS工藝和激光加工技術(shù)，設(shè)計(jì)并制作硅杯和懸臂梁兩種結(jié)構(gòu)的以納米硅/單晶硅異質(zhì)結(jié)為源極和漏極的MOSFETs脈象傳感器的方法，闡述了納米硅/單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象檢測系統(tǒng)的制作方法，以及采用人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)處理脈象檢測結(jié)果的方法。

作者簡介

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圖書目錄

第1章概述
1.1 引言
1.2 脈象傳感器的分類和研究現(xiàn)狀
1.3 MOSFET壓力傳感器的研究現(xiàn)狀
1.4 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)研究現(xiàn)狀
1.5 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感與檢測系統(tǒng)的研究目的和意義
1.6 主要研究內(nèi)容
第2章納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器的理論分析與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
2.1 MOSFETs硅脈象傳感器的理論模型
2.2 MOSFETs硅脈象傳感器的理論分析
2.3 半導(dǎo)體材料壓阻效應(yīng)基本理論
2.4 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器力敏結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
2.5 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器結(jié)構(gòu)模型
2.6 本章小結(jié)
第3章納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器制作工藝
3.1 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器制作工藝
3.2 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器管芯性能檢測封裝結(jié)構(gòu)
3.3 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器電源激勵(lì)方式
3.4 本章小結(jié)
第4章納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器的實(shí)驗(yàn)結(jié)果與討論
4.1 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)p-MOSFET特性
4.2 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器的靜態(tài)特性研究
4.3 懸臂梁式納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象傳感器的測試
4.4 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFE7s脈象傳感器的溫度特性
4.5 本章小結(jié)
第5章納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象檢測的系統(tǒng)設(shè)計(jì)與實(shí)測結(jié)果分析
5.1 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象檢測系統(tǒng)的概述
5.2 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象檢測系統(tǒng)各功能模塊的設(shè)計(jì)
5.3 納米硅／單晶硅異質(zhì)結(jié)MOSFETs脈象檢測系統(tǒng)的脈象檢測結(jié)果
5.4 采用人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)處理脈象檢測結(jié)果
5.5 本章小結(jié)
結(jié)論
參考文獻(xiàn)
后記