薄膜材料科學(xué)（第2版）

定　價：￥188.00

作　者：	（美）奧林著，劉衛(wèi)國，蔡長龍，梁海鋒等譯
出版社：	國防工業(yè)出版社
叢編項：
標　簽：	工業(yè)技術(shù) 一般工業(yè)技術(shù)

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ISBN：	9787118081442	出版時間：	2013-02-01	包裝：	平裝
開本：	16開	頁數(shù)：	484	字數(shù)：

內(nèi)容簡介

　　《薄膜材料科學(xué)（第2版）》詳細介紹了涉及薄膜材料科學(xué)的各個方面，內(nèi)容包括真空技術(shù)、薄膜沉積技術(shù)與原子過程、薄膜的結(jié)構(gòu)與性能表征等。本書內(nèi)容廣泛，資料全面，各章后面附有習(xí)題，是一本真正意義上的薄膜科學(xué)與技術(shù)的教科書。該書自1992年第1版問市以來，深受材料科學(xué)界的廣泛歡迎。非常適用于從事薄膜材料研究的專業(yè)研究人員、材料類院系高年級本科生和研究生作教材或參考書。本書由中國科學(xué)院物理研究所研究員曹則賢先生特別推薦。

作者簡介

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圖書目錄

第1章材料科學(xué)基礎(chǔ)
第2章真空科學(xué)與技術(shù)
第3章薄膜熱蒸發(fā)過程
第4章放電、等離子體、離子與表面的相互作用
第5章薄膜制備的等離子體與離子束工藝
第6章化學(xué)氣相沉積
第7章基底表面與薄膜成核
第8章外延生長
第9章薄膜結(jié)構(gòu)
第10章薄膜及表面的特性
第11章薄膜內(nèi)的互擴散、反應(yīng)和相變
第12章薄膜的力學(xué)性能
習(xí)題
附錄