學(xué)術(shù)專(zhuān)著·材料科學(xué)與工程：壓電薄膜材料與器件制備技術(shù)

定　價(jià)：￥28.00

作　者：	張濤著
出版社：	西北工業(yè)大學(xué)出版社
叢編項(xiàng)：
標(biāo)　簽：	科技其它工業(yè) 一般工業(yè)技術(shù)

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ISBN：	9787561234808	出版時(shí)間：	2012-09-01	包裝：	平裝
開(kāi)本：	16開(kāi)	頁(yè)數(shù)：	191	字?jǐn)?shù)：

內(nèi)容簡(jiǎn)介

　　《學(xué)術(shù)專(zhuān)著·材料科學(xué)與工程：壓電薄膜材料與器件制備技術(shù)》主要講述了壓電薄膜與壓電微型器件制備技術(shù)，主要內(nèi)容分為引言、上篇、下篇和后記。在引言部分，對(duì)全書(shū)內(nèi)容做了總體介紹。在上篇中，介紹了薄膜材料基礎(chǔ)知識(shí)和基本制備方法，對(duì)當(dāng)前國(guó)內(nèi)壓電薄膜的研究進(jìn)展做了簡(jiǎn)單陳述，主要闡述高壓電性PzT基三元系鐵電薄膜PMnN—PZT的制備與表征。在下篇中，介紹了壓電器件的分類(lèi)和聲學(xué)器件的基礎(chǔ)知識(shí)與進(jìn)展，主要闡述了薄膜體聲波諧振器（FBAR）的理論仿真、模擬與性能優(yōu)化方法。在后記部分，對(duì)全書(shū)內(nèi)容進(jìn)行了總結(jié)?！秾W(xué)術(shù)專(zhuān)著·材料科學(xué)與工程：壓電薄膜材料與器件制備技術(shù)》可作為聲學(xué)、材料學(xué)、微電子學(xué)等相關(guān)專(zhuān)業(yè)研究生的教學(xué)參考用書(shū)，也可供聲學(xué)、壓電學(xué)、薄膜材料和微型機(jī)電器件研究領(lǐng)域的科研工作人員參考。

作者簡(jiǎn)介

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圖書(shū)目錄

引言
上篇壓電薄膜制備技術(shù)
第一章壓電薄膜基礎(chǔ)理論
1.1 薄膜生長(zhǎng)與薄膜結(jié)構(gòu)
1.2 壓電原理與鐵電效應(yīng)
參考文獻(xiàn)
第二章壓電薄膜制備技術(shù)與進(jìn)展
2.1 壓電薄膜的制備方法
2.2 壓電薄膜研究進(jìn)展
2.3 壓電薄膜性能表征
參考文獻(xiàn)
第三章三元系PMnN-PZT鐵電薄膜的研究
3.1 鐵電材料發(fā)展簡(jiǎn)介
3.2 三元系PMnN-PZT鐵電材料特性
3.3 三元系PMnN-PZT鐵電薄膜制備與性能表征
參考文獻(xiàn)
下篇薄膜壓電器件制備技術(shù)
第四章聲學(xué)器件原理與應(yīng)用
4.1 壓電器件的分類(lèi)
4.2 聲學(xué)器件原理與應(yīng)用
參考文獻(xiàn)
第五章薄膜體聲波諧振器理論研究
5.1 薄膜體聲波諧振器的研究進(jìn)展與熱點(diǎn)
5.2 傳輸矩陣法理論
5.3 薄膜體聲波諧振器理論仿真與模擬
參考文獻(xiàn)
后記