功能薄膜及其沉積制備技術

　　《功能薄膜及其沉積制備技術》由戴達煌、代明江、侯惠君編著，本書結合功能薄膜的特點和工程應用與發(fā)展實際，概要地講述了薄膜的含義、特征和分類及功能薄膜設計的原則；重點講述了氣相沉積、三束材料表面改性、復合處理等先進功能薄膜沉積制備方法、原理、工藝特點及適用的領域；在裝飾與機械功能薄膜中，講述了主要膜系、膜系的設計原則，并分別列舉了裝飾與機械功能膜的典型應用及發(fā)展趨勢；在物理和特殊功能薄膜中，講述了微電子、電磁、光學、光電子、集成光學等功能薄膜以及幾種特殊的功能薄膜的特點及其典型的應用；最后扼要地介紹了微細加工技術、微機電系統(tǒng)加工的特點、典型器件與系統(tǒng)的新應用等內容。全書內容系統(tǒng)，深入淺出地介紹了一些新構思、新材料、新器件所實現(xiàn)的工程應用?！豆δ鼙∧ぜ捌涑练e制備技術》可供從事材料表面技術與工程、薄膜材料工藝與應用研究、設計、制造、管理的科技人員參考，也可供高等院校材料專業(yè)和相近專業(yè)師生使用。

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