金剛石薄膜沉積制備工藝與應(yīng)用

定　價：￥20.00

作　者：	戴達煌[等]編著
出版社：	冶金工業(yè)出版社
叢編項：	21世紀(jì)新材料科學(xué)與技術(shù)叢書
標(biāo)　簽：	暫缺

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ISBN：	9787502427757	出版時間：	2001-06-01	包裝：	簡裝本
開本：	21cm	頁數(shù)：	224	字?jǐn)?shù)：

內(nèi)容簡介

　　這是一本較全面地敘述金剛石薄膜沉積制備工藝與應(yīng)用的書。本書從金剛石薄膜的優(yōu)異性能和應(yīng)用前景出發(fā)，闡述了各種沉積薄膜的制備方法；論述了金剛石薄膜的非平衡熱力學(xué)和金剛石膜聲場的動力學(xué)因素；較詳盡地探討了能大面積沉積金剛石膜的熱絲裝置和當(dāng)今沉積速率最高的等離子射流裝置的一些關(guān)鍵技術(shù)和成膜關(guān)鍵技術(shù)和成膜工藝；同時介紹了性能接近金剛石膜、易實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化、應(yīng)用前景看好的雷金剛石膜的制備工藝、性能和應(yīng)用。最后展望了金剛石膜未來的發(fā)展前景，指出金剛石膜必將成為21世紀(jì)有影響的功能薄膜材料。

作者簡介

暫缺《金剛石薄膜沉積制備工藝與應(yīng)用》作者簡介

圖書目錄

第1章概論
1 金剛石薄膜的優(yōu)異性能及其應(yīng)用前景
……

第2章金剛石薄膜沉積的非平衡勢力學(xué)與形成機理
1 概述
……

第3章金剛石薄膜沉積生長的動力學(xué)因素與動力學(xué)方程
1 金剛石薄膜沉積生長的一些動力學(xué)因素
……

第4章高速大面積沉積金剛石薄膜的裝置
1 大面積沉積金剛石薄膜的熱絲CVD裝置
……

第5章金剛石膜沉積工藝
1 金剛石膜的主要沉積方法和成膜生長概述
……

第6章類金剛石薄膜（DLC膜）
1 DLC膜的概述與表征
……

第7章結(jié)語與展望
1 金剛石膜進展概況
……