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電子束離子束技術

電子束離子束技術

定　價：￥28.00

作　者： 趙玉清編著
出版社： 西安交通大學出版社
叢編項：
標　簽： 電子其他
ISBN： 9787560510859 出版時間： 2002-03-01 包裝：
開本： 23cm 頁數(shù)： 254頁 字數(shù)：  

內容簡介

　　本書主要介紹電子束離子束的產生、引出、加速和偏轉的工作原理，物理過程和主要部件等內容，并通過電子束離子束在微電子領域中的應用，進一步闡述了它與納米技術信息相關的掃描隧道顯微鏡技術。本書為高等學校微電子技術專業(yè)的教科書。

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